成果简介：通过省创新团队项目的研究，确定了制备具有最佳压阻特性多晶硅纳米薄膜的关键工艺条件，给出了多晶硅纳米薄膜应变电阻的制作方法，采用多晶硅纳米薄膜作敏感材料设计并试制了耐高温压阻式压力传感器。该项目成果填补了国内外空白。

学科领域：电子信息

服务领域：先进制造、新材料

应用范围：装备制造、石化、化工、电力、管网运输、环保、水利、汽车等部门的流程控制、自动化系统成套、设备配套，每年需要各类高性能压力传感器数千万只。目前大部分依靠进口。

技术特性：灵敏度：22.23mV/V/MPa，在0-200℃范围内，灵敏度温度系数为-0.098%/℃，零点温度系数为-0.017%/℃。

获奖情况：

专利情况：

技术水平：

生产使用条件：可在超净半导体传感器生产线上加工生产。

市场经济效益预测：

合作方式/条件：技术转让、技术咨询、技术开发、技术服务、技术入股、合资合作、其他

典型应用案例：

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负责人：揣荣岩

联系方式：13940346712